登入帳戶  | 訂單查詢  | 購物車/收銀台( 0 ) | 在線留言板  | 付款方式  | 運費計算  | 聯絡我們  | 幫助中心 |  加入書簽
會員登入 新用戶登記
HOME新書上架暢銷書架好書推介特價區會員書架精選月讀2023年度TOP分類瀏覽雜誌 臺灣用戶
品種:超過100萬種各類書籍/音像和精品,正品正價,放心網購,悭钱省心 服務:香港台灣澳門海外 送貨:速遞郵局服務站

新書上架簡體書 繁體書
暢銷書架簡體書 繁體書
好書推介簡體書 繁體書

八月出版:大陸書 台灣書
七月出版:大陸書 台灣書
六月出版:大陸書 台灣書
五月出版:大陸書 台灣書
四月出版:大陸書 台灣書
三月出版:大陸書 台灣書
二月出版:大陸書 台灣書
一月出版:大陸書 台灣書
12月出版:大陸書 台灣書
11月出版:大陸書 台灣書
十月出版:大陸書 台灣書
九月出版:大陸書 台灣書
八月出版:大陸書 台灣書
七月出版:大陸書 台灣書
六月出版:大陸書 台灣書

『簡體書』微机电系统(MEMS)工艺基础与应用

書城自編碼: 2800198
分類:簡體書→大陸圖書→教材研究生/本科/专科教材
作者: 邱成军, 曹姗姗, 卜丹
國際書號(ISBN): 9787560351094
出版社: 哈尔滨工业大学出版社
出版日期: 2016-02-01

頁數/字數: 301页
書度/開本: 16 釘裝: 平装

售價:HK$ 72.0

我要買

 

** 我創建的書架 **
未登入.


新書推薦:
坦克行动:一名装甲部队指挥官的战争(1944年至1945年)
《 坦克行动:一名装甲部队指挥官的战争(1944年至1945年) 》

售價:HK$ 114.8
翻译的危险:清代中国与大英帝国之间两位译者的非凡人生
《 翻译的危险:清代中国与大英帝国之间两位译者的非凡人生 》

售價:HK$ 94.3
论法拉比与迈蒙尼德:施特劳斯讲演与论文集:卷三
《 论法拉比与迈蒙尼德:施特劳斯讲演与论文集:卷三 》

售價:HK$ 109.3
实验之火:锻造英格兰炼金术(1300—1700年)
《 实验之火:锻造英格兰炼金术(1300—1700年) 》

售價:HK$ 124.2
高功率激光推进
《 高功率激光推进 》

售價:HK$ 110.4
藩镇时代的政治与社会
《 藩镇时代的政治与社会 》

售價:HK$ 112.7
电网设备无人机自动机场建设与应用
《 电网设备无人机自动机场建设与应用 》

售價:HK$ 89.7
中国沿海的贸易与外交:通商口岸的开埠:1842-1854.下
《 中国沿海的贸易与外交:通商口岸的开埠:1842-1854.下 》

售價:HK$ 147.2

 

建議一齊購買:

+

HK$ 146.2
《半导体制造技术》
+

HK$ 277.5
《非硅MEMS技术及其应用》
+

HK$ 179.4
《微机电系统(MEMS)设计和原型设计指南》
+

HK$ 182.9
《微机电系统基础(原书第2版)》
+

HK$ 192.0
《惯性MEMS器件原理与实践》
內容簡介:
《微机电系统(MEMS)工艺基础与应用》着重从基本理论和具体应用方面阐述MEMS工艺。主要介绍MEMS的概念、发展现状与趋势及力学相关知识;重点阐述MEMS实现工艺,主要有刻蚀(包括各向同性和各向异性刻蚀的原理、实现的方法、以及刻蚀自停止技术和干法刻蚀),表面微加工工艺的基本原理及其常用材料,硅片键合技术的各种方法、工艺过程及其各自的影响因素,LIGA技术的基本工艺流程和各部分工艺的实现方法;在工艺基础上介绍传感器和执行器的基本原理、应用范围及其工艺流程;最后就MEMS在军事、医疗、汽车方面的应用及对MEMS器件实现检测的方法加以介绍。全书共分为10章,主要内容有:MEMS系统简介,MEMS相关力学基础,体硅加工工艺,表面微加工工艺,硅片键合工艺,LICA技术,MEMS传感器,MES执行器,MEMS的封装,MEMS的应用及检测技术。

 

 

書城介紹  | 合作申請 | 索要書目  | 新手入門 | 聯絡方式  | 幫助中心 | 找書說明  | 送貨方式 | 付款方式 香港用户  | 台灣用户 | 大陸用户 | 海外用户
megBook.com.hk
Copyright © 2013 - 2024 (香港)大書城有限公司  All Rights Reserved.