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『簡體書』微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用

書城自編碼： 2960068
分類：簡體書→大陸圖書→工業技術→一般工业技术
作者： 顾长志等
國際書號(ISBN)： 9787030378255
出版社： 科学出版社
出版日期： 2017-02-01
版次： 31 印次： 1
頁數/字數： 353页
書度/開本： B5 釘裝： 圆脊精装

售價：HK$ 200.1

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內容簡介：
本书共分十二章，第1－8章分类介绍了几种主要的微纳加工技术，包括：光学曝光、电子束曝光技术、聚焦离子束加工技术、激光加工技术、纳米压印技术、离子束技术、薄膜技术和自组装加工，即简要概述了各种加工方法的科学基础，又从实用出发，介绍了各种技术的主要工艺过程，特别涉及各种技术根据需要最新发展的一些创新方法；第9－12章按几个不同的领域，介绍了微纳加工技术在纳米材料与器件研究中的一些应用实例，包括电学、光学、磁学、生物等其它领域。这些成果深刻影响了当前纳米科学与技术的发展，希望能对从事相关领域研究的读者有所启发和借鉴。

 

 

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