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| 內容簡介： |
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《低温等离子体诊断原理与技术》阐述了低温等离子体诊断的基本原理与重要技术。从等离子体的基本概念与性质、低温等离子体的产生方法和等离子体中的基本化学过程，到低温等离子体的探针诊断技术及其应用、光谱诊断技术及其应用、质谱诊断技术及其应用、离子能量诊断技术及其应用、波干涉诊断技术、等离子体阻抗分析技术及其应用，较全面地介绍了低温等离子体诊断的基础知识，总结了该领域近年来的一些新进展，提供了低温等离子体诊断应用的实例。
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| 目錄：
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目录前言第1章等离子体基本概念和性质11.1等离子体概念11.1.1等离子体的定义与产生11.1.2等离子体的分类21.2等离子体的导电性与准电中性41.2.1等离子体的导电性41.2.2等离子体的准电中性41.3等离子体鞘层51.4等离子体的基本参量71.4.1等高子体密度与电离度71.4.2等离子体温度与能量分布函教81.4.3德拜长度101.4.4等离子体频率111.4.5等离子体的时空特征量121.5等离子体中带电粒子的扩散121.6低温等高子体诊断方法概述15参考文献16第2章气体放电等离子体基础182.1直流放电182.1.1直流放电基本过程182.1.2帕邢定律202.1.3直流辉光放电特性212.2射频放电222.2.1射频放电基本过程222.2.2射频等离子体中的自偏压242.2.3射频放电的产生方法272.3波加热放电312.3.1微波放电312.3.2微波电子回旋共振放电312.3.3螺旋波放电352.4磁控放电402.4.1磁控放电基本过程102.4.2磁控放电技术412.5介质阻挡放电472.5.1介质阻挡放电基本过程472.5.2介质阻挡放电技术48参考文献51第3章等离子体化学基础543.1化学反应的表征543.2等离子体中的化学反应553.2.1同相反应553.2.2异相反应663.3化学反应链673.4等离子体与表面相互作用683.4.1等离子体与固体表面的作用693.4.2离子和电子诱导的表面化学反应713.4.3能量传递723.4.4薄膜沉积与性能调控733.4.5刻蚀与等离子体诱导损伤73参考文献74第4章低温等离子体的探针诊断754.1朗缪尔探针诊断的基本方法754.1.1朗缪尔探针的结构与工作电路754.1.2朗缪尔探针的电流-电压特性784.1.3从探针IV特性曲线获取等离子体参数794.1.4双探针技术804.1.5探针诊断的条件、优点与缺点824.2朗缪尔探针的基本理论824.2.1无碰撞鞘层824.2.2平面探针834.2.3圆柱形探针844.3探针诊断的误差分析与数据处理884.3.1探针测量误差的估算884.3.2探针测量误差的主要来源894.3.3探针I-V特性的二次微分方法914.4朗缪尔探针诊断方法的空间和时间分辨率934.4.1朗缪尔探针诊断方法的空间分辨率934.4.2朗缪尔探针诊断方法的时间分辨率944.5非麦克斯韦分布的探针理论954.6各向异性等离子体的探针诊晰974.7磁化等离子体中的朗缪尔探针994.7.1磁场的影响994.7.2磁化等离子体中的探针理论1014.7.3磁化等离子体中的探针测量1034.8射频与甚高频等离子体中的朗缪尔探针1044.8.1射频等离子体中的探针特性1044.8.2射频补偿方法1044.8.3无补偿的测量条件1114.8.4射频补偿对电子能量分布函数测量的影响1134.8.5甚高频放电等离子体的探针诊断1144.9脉冲等离子体的探针诊断1174.9.1脉冲磁控放电等离子体的探针诊断1174.9.2脉冲激光等离子体的探针诊断1204.10化学活性等离子体的探针诊断1224.10.1化学活性等离子体中的探针污染1224.10.2发射探针技术1234.10.3电容耦合探针技术1254.10.4悬浮探针技术1264.10.5三探针技术1304.10.6射频阻抗探针和等离子体振荡探针技术1324.10.7热探针技术1334.10.8探针表面的清洗方法1364.11电负性等离子体的探针诊断1374.11.1I-V特性与二阶导数报合法1374.11.2I-V特性直接分析法1394.12尘埃等离子体的探针诊断1414.12.1探针机械屏蔽法1424.12.2复合探针电压扫描法1434.13大气压放电等离子体的探针诊断1454.18.1扫描朗缪尔探针系统1464.13.2高压非局域热平街等离子体柱状探针离子饱和电流模型1474.14电磁探针技术1514.14.1礁探针1514.14.2射频电流探针152参考文献153第5章低温等离子体的光谱诊断1565.1等离子体光语的产生机理1565.2发射光谱1595.2.1等离子体发射光谐的诺特性1595.2.2发射光谱诊断的实验装量1635.2.3发射光谱方法的优点与缺点1675.3发射光谱的光化线强度测定法1675.4等离子体温度的光谱测量1715.4.1惰性示踪气体发射光谱法测量电子温度1715.4.2光强比值法测量电子温度1745.4.3发射光谱法测量分子转动温度、振动温度1775.5吸收光谱1825.5.1吸收光谱原理1825.5.2吸收光谱实验装置1835.6景光诱导荧光光谱1855.6.1激光诱导荧光原理1865.6.2激光诱导荧光光谱的实验装置1875.6.3激光诱导荧光光谱方法的优点与缺点1895.6.4激光诱导荧光技术测量放电等离子体中的原子密度1905.7光腔衰荡光谱1925.7.1光腔衰落光谱原理1925.7.2光腔衰荡光谱实验装置1945.7.3光腔衰落光谱实验数据的获得1955.8等离子体材料加工的光谱诊断1965.8.1薄膜生长机制分析1985.8.2基团的形成诊断与密度测量2035.8.3薄膜沉积过程监测2105.9等离子体刻蚀的光谱诊断2105.9.1等离子体刻蚀过程的终点检测2105.9.2等离子体刻蚀机理分析2135.10大气压放电等离子体的光谱诊时2165.10.1大气压放电等离子体的光谱诊断概述2165.10.2大气压放电等离子体的电子密度测量218参考文献221第6章低温等离子体的质谱诊断2296.1质谱诊断的基本原理2296.2四极质谱仪2336.2.1四极质谱仪的组成与工作原理2346.2.2四极质谱仅的分辨率2376.2.3四极质谱仪的标定2386.2.4四极质谱仪的优点与缺点2386.2.5实用四极质谱仪的结构与性能2396.3飞行时间质谱仪2416.4磁偏转质谱仪2436.5质谱仪与等离子体系统的连接2446.5.1机械连接2456.5.2电连接2476.6质谱数据的表示方法2496.6.1质谱数据的表示2496.6.2图形系数2506.7中性气体的质谱分析2516.7.1中性气体的四极质谱分析技术2516.7.2中性气体质谱的成分识别2526.7.3中性气体质谱的相对浓度测定2536.8离子的质谱分析2546.8.1离子的四极质谱分析技术2556.8.2离子密度与离子能量分布的确定2556.8.3等离子体的离子质谱分析2576.9用质谱确定等离子体物理基本数据2596.10低温等离子体的质谱诊断应用2606.10.1四极质谱在放电等离子体中的应用2606.10.2双聚焦礁偏转质谱在放电等离子体中的应用2726.10.8飞行时间质谱在放电等高子体中的应用275参考文献278第7章低温等离子体离子能量的诊断2817.1拒斥场能量分析技术2817.1.1基本原理2817.1.2测试技术2827.2离子的速度与能量分布2837.3离子能量分布特性2847.4拒斥场离子能量分析技术应用2867.4.1双频双靶磁控溅射的离子能量诊断2867.4.2Ag薄膜初始生长的高子能量关联分析2927.5能量分钟的质谱分析技术294参考文献296第8章低温等离子体的波干涉诊断2988.1微波干涉法2988.2传输线微波干涉法3038.3激光干涉法3088.4激光双色干涉法310参考文献312第9章放电等离子体阻抗分析技术3149.1放电等离子体阻抗分析的理论基础3149.2放电等离子体阻抗分析射频V-I探针技术3169.3放电等离子体阻抗分析的应用3189.3.1在磁控放电鞘层研究中的应用3189.3.2在射频、甚高频放电特性研究中的应用3199.3.3在等离子体刻蚀中的应用3219.3.4放电等离子体化学分析324参考文献326附录328参考文献337
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