《微机电器件设计、仿真及工程应用》 - 郭占社周富强著 - 北京航空航天大学出版社 - 香港大書城 - Meg Book Store

	登入帳戶　 \|　訂單查詢　 \|　購物車/收銀台(0)　\|　在線留言板　 \|　付款方式　 \|　運費計算　 \|　聯絡我們　 \|　幫助中心　\|　加入書簽
		會員登入新用戶登記

HOME

新書上架

暢銷書架

好書推介

會員書架精選

2023年度TOP

臺灣用戶

品種：超過100萬種各類書籍/音像和精品，正品正價，放心網購，悭钱省心

服務：香港／台灣／澳門／海外

送貨：速遞／郵局／服務站

新書上架：簡體書繁體書
暢銷書架：簡體書繁體書
好書推介：簡體書繁體書

十月出版：大陸書台灣書
九月出版：大陸書台灣書
八月出版：大陸書台灣書
七月出版：大陸書台灣書
六月出版：大陸書台灣書
五月出版：大陸書台灣書
四月出版：大陸書台灣書
三月出版：大陸書台灣書
二月出版：大陸書台灣書
一月出版：大陸書台灣書
12月出版：大陸書台灣書
11月出版：大陸書台灣書
十月出版：大陸書台灣書
九月出版：大陸書台灣書
八月出版：大陸書台灣書

『簡體書』微机电器件设计、仿真及工程应用

書城自編碼： 3636153
分類：簡體書→大陸圖書→教材→研究生/本科/专科教材
作者：郭占社周富强著
國際書號(ISBN)： 9787512434561
出版社：北京航空航天大学出版社
出版日期： 2021-03-01

頁數/字數： /
書度/開本： 16开釘裝：平装

售價：HK$ 80.9

我要買件

** 我創建的書架 **
未登入.

新書推薦：

传播的跃迁：人工智能如何革新人类的交流

《传播的跃迁：人工智能如何革新人类的交流》
售價：HK$ 110.9

纯粹·古代中国的历史与制度

《纯粹·古代中国的历史与制度》
售價：HK$ 62.7

生活来来往往别等来日方长新版（伍佰：“讲好了这一辈子，再度重相逢。”别等，别遗憾！珍惜当下才是最好的解药）

《生活来来往往别等来日方长新版（伍佰：“讲好了这一辈子，再度重相逢。”别等，别遗憾！珍惜当下才是最好的解药）》
售價：HK$ 58.2

一个英国军事顾问眼中的二战

《一个英国军事顾问眼中的二战》
售價：HK$ 277.8

就业、利息和货币通论（徐毓枬译本）（经济学名著译丛）

《就业、利息和货币通论（徐毓枬译本）（经济学名著译丛）》
售價：HK$ 67.2

《瘦肝》
售價：HK$ 99.7

股票大作手回忆录

《股票大作手回忆录》
售價：HK$ 55.8

秩序四千年：人类如何运用法律缔造文明（世界重归混乱，文明岌岌可危，法律与秩序是我们仅有的武器。穿越时间，鸟瞰全球，一部波澜壮阔的人类文明史）

《秩序四千年：人类如何运用法律缔造文明（世界重归混乱，文明岌岌可危，法律与秩序是我们仅有的武器。穿越时间，鸟瞰全球，一部波澜壮阔的人类文明史）》
售價：HK$ 154.6

建議一齊購買：

+

HK$ 80.9
《大学物理基础教程》

+

HK$ 76.6
《分析化学（第二版）》

+

HK$ 125.0
《公司法论（第四版）》

+

HK$ 82.4
《影视导演基础（第三版）》

+

HK$ 56.6
《Python语言程序设计基础（第2版）》

+

HK$ 161.7
《机器学习算法（MATLAB版）》

內容簡介：

《微机电器件设计、仿真及工程应用》对微机电系统基础理论、关键问题及常用硅微机械器件做了详细介绍。在此基础上，以微机电系统中常用的核心器件为对象，结合大量工程实例，采用Ansys软件，详细介绍了采用有限元仿真技术对其设计可行性进行验证的方法，包括结构的静力学仿真、模态仿真、静电仿真、热力学仿真以及疲劳仿真等，为在有限元仿真技术方面的相关研究提供了一定的技术支持。
　　《微机电器件设计、仿真及工程应用》可作为从事MEMS研究的设计人员的参考书，也可作为相关专业研究生的教材。

目錄：

第1章绪论
1．1 微机电系统概述
1．2 微机电系统的发展历程
1．3 MEMS CAD
参考文献
第2章典型MEMS元件及理论基础
2．1 MEMS静电梳齿理论
2．1．1 概述
2．1．2 结构工作原理
2．1．3 理想状况下平板电容理论
2．1．4 修正计算模型推导
2．1．5 理想状况下静电梳齿驱动器驱动力的计算
2．1．6 静电梳齿驱动器微弱电容检测方法
2．2 MEMS悬臂梁理论
2．2．1 概述
2．2．2 悬臂梁理论计算方法
2．2．3 单端固支梁轴向拉压相关理论计算
2．2．4 双端固支梁轴向拉压相关理论计算
2．3 MEMS薄膜理论
2．4 小结
参考文献
第3章 MEMS材料
3．1 概述
3．2 单晶硅
3．2．1 单晶硅材料的特点
3．2．2 单晶硅的晶向
3．3 多晶硅
3．4 二氧化硅
3．5 压电材料
3．5．1 压电材料的正压电效应与逆压电效应
3．5．2 石英晶体
3．5．3 压电陶瓷
3．6 其他MEMS材料
3．7 小结
参考文献
第4章 MEMS工艺
4．1 概述
4．2 MEMS光刻工艺
4．3 关键光刻工艺理论
4．3．1 硅片清洗
4．3．2 硅片氧化
4．3．3 匀胶工艺
4．3．4 前烘
4．3．5 曝光
4．3．6 显影
4．3．7 坚膜
4．3．8 开二氧化硅窗口
4．4 MEMS后续工艺
4．4．1 体硅工艺
4．4．2 表面硅工艺
4．4．3 LIGA工艺
4．4．4 溅射工艺
4．4．5 剥离工艺
4．4．6 键合工艺
4．5 薄膜制备技术
4．6 多种工艺组合生成MEMS器件工程实例
4．6．1 概述
4．6．2 谐振式硅微机械陀螺制作工艺
4．6．3 电磁型平面微电机制作工艺
4．7 小结
……
第5章微尺度下MEMS器件摩擦磨损问题
第6章典型参数的MEMS测试方法
第7章有限元法在微机电器件设计中的应用实例

書城介紹　 |　合作申請　|　索要書目　 |　新手入門　|　聯絡方式　 |　幫助中心　|　找書說明　 |　送貨方式　|　付款方式 香港用户　 |　台灣用户　|　大陸用户　|　海外用户

megBook.com.hk

Copyright © 2013 - 2024 （香港）大書城有限公司　 All Rights Reserved.